-
◆ Lazer algılama kafası ve numune tarama aşaması entegre edilmiştir, yapı çok kararlıdır ve parazit önleyici güçlüdür
-
◆ Hassas prob konumlandırma cihazı, lazer nokta hizalama ayarı çok kolaydır
◆ Tek eksenli sürücü numunesi, iğne ucunun numune taramasına dik olması için otomatik olarak proba dikey olarak yaklaşır
◆ Motor kontrollü basınçlı piezoelektrik seramik otomatik algılamanın akıllı iğne besleme yöntemi, probu ve numuneyi korur
-
◆ Yüksek hassasiyetli ve geniş kapsamlı piezoelektrik seramik tarayıcılar serbestçe seçilebilir
◆ Yüksek büyütmeli objektif lens otomatik optik konumlandırma, odaklanmaya gerek yok, gerçek zamanlı gözlem ve prob numunesi tarama alanının konumlandırılması
-
◆ Yaylı süspansiyon darbeye dayanıklı yöntem, basit ve pratik, iyi darbeye dayanıklı etki
◆ Metal korumalı ses geçirmez kutu, yerleşik yüksek hassasiyetli sıcaklık ve nem sensörü, çalışma ortamının gerçek zamanlı izlenmesi
-
◆ Entegre tarayıcı doğrusal olmayan düzeltme kullanıcı editörü, nanometre karakterizasyonu ve ölçüm doğruluğu %98'den daha iyi
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
| Şartname |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
| Çalışma modu |
Dokunma Modu
[İsteğe bağlı]
İletişim Modu
Sürtünme Modu
Faz Modu
Manyetik Mod
Elektrostatik Mod |
İletişim Modu
Dokunma Modu
[İsteğe bağlı]
Sürtünme Modu
Faz Modu
Manyetik Mod
Elektrostatik Mod |
İletişim Modu
Dokunma Modu
[İsteğe bağlı]
Sürtünme Modu
Faz Modu
Manyetik Mod
Elektrostatik Mod |
İletişim Modu
Dokunma Modu
[İsteğe bağlı]
Sürtünme Modu
Faz Modu
Manyetik Mod
Elektrostatik Mod |
| Mevcut Spektrum Eğrisi |
RMS-Z Eğrisi
[İsteğe bağlı]
FZ Kuvvet Eğrisi |
RMS-Z Eğrisi
FZ Kuvvet Eğrisi |
RMS-Z Eğrisi
FZ Kuvvet Eğrisi |
RMS-Z Eğrisi
FZ Kuvvet Eğrisi |
| XY Tarama Aralığı |
20×20um |
20×20um |
50×50um |
50×50um |
| XY Tarama Çözünürlüğü |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
0,2 nm |
| Z Tarama Aralığı |
2.5um |
2.5um |
5um |
5um |
| Y Tarama Çözünürlüğü |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
| Tarama Hızı |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
| Tarama Açısı |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
| Örnek boyut |
Φ≤90mm
H≤20mm |
Φ≤90mm
H≤20mm |
Φ≤90mm
H≤20mm |
Φ≤90mm
H≤20mm |
| XY Sahne Hareketli |
15×15mm |
15×15mm |
25×25um |
25×25um |
| Şok Emici Tasarım |
Yaylı süspansiyon |
Yaylı süspansiyon
Metal Koruyucu Kutu |
Yaylı süspansiyon
Metal Koruyucu Kutu |
- |
| Optik Sistem |
4x Hedef
Çözünürlük 2.5um |
4x Hedef
Çözünürlük 2.5um |
10x Hedef
Çözünürlük 1um |
Mercek 10x
Sonsuzluk Planı LWD APO 5x10x20x50x
5.0M Dijital Kamera
10" LCD Monitör, Ölçümlü
LED Kohler Aydınlatma
Koaksiyel Kaba ve İnce Odaklama |
| Çıktı |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
| Yazılım |
XP/7/8/10 kazanın |
XP/7/8/10 kazanın |
XP/7/8/10 kazanın |
XP/7/8/10 kazanın |
-
| Mikroskop |
Optik mikroskop |
Elektron mikroskobu |
Taramalı Prob Mikroskobu |
| Maksimum Çözünürlük (um) |
0.18 |
0.00011 |
0.00008 |
| Açıklama |
Yağa daldırma 1500x |
Elmas karbon atomlarını görüntüleme |
Yüksek dereceli grafit karbon atomlarını görüntüleme |
|
|
|
-
| Prob-Numune Etkileşimi |
Ölçüm Sinyali |
Bilgi |
| Kuvvet |
Elektrostatik kuvvet |
Şekil |
| Tünel Akımı |
Akım |
Şekil, İletkenlik |
| Manyetik Kuvvet |
Evre |
Manyetik Yapı |
| Elektrostatik kuvvet |
Evre |
yük dağılımı |
-
| |
Çözünürlük |
Çalışma şartı |
Çalışma Temperleme |
Numune Hasarı |
Muayene Derinliği |
| SPM |
Atom Seviyesi 0.1nm |
Normal, Sıvı, Vakum |
Oda veya Düşük Sıcaklık |
Hiçbiri |
1~2 Atom Seviyesi |
| TEM |
Nokta 0.3~0.5nm
Kafes 0.1~0.2nm |
Yüksek Vakum |
Oda Sıcaklığı |
Küçük |
Genellikle <100nm |
| SEM |
6-10nm |
Yüksek Vakum |
Oda Sıcaklığı |
Küçük |
10mm @10x
1um @10000x |
| FIM |
Atom Seviyesi 0.1nm |
Süper Yüksek Vakum |
30~80K |
hasar |
Atom Kalınlığı |
-
-
-
