| A63.7080, A63.7081 Yazılım Ana Fonksiyonu | ||
| Yüksek gerilim entegre devreye alma | Otomatik filaman açma/kapama | Potansiyel vardiya düzenlemesi |
| Parlaklık ayarı | Elektrikliden merkezi ayara | Otomatik parlaklık |
| Kontrast ayarı | Objektif lens ayarı | Otomatik odaklama |
| Büyütme ayarı | Objektif manyetikliği giderme | Otomatik astigmat giderme |
| Seçilen alan tarama modu | Elektrikli dönüş ayarı | Mikroskop parametrelerinin yönetimi |
| Nokta tarama modu | Elektron ışını yer değiştirme ayarı | Tarama alanı boyutunun gerçek zamanlı gösterimi |
| Satır tarama modu | Elektron ışını eğim ayarı | Silah mercek ayarı |
| Yüzey taraması | Tarama hızı ayarı | Çok kanallı giriş |
| Yüksek gerilim güç izleme | Salınım merkezleme | Cetvel ölçümü |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Çözünürlük | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1,5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2,5nm@30KV(BSE) |
| Büyütme | 1x~450000x,Negatif Gerçek Büyütme | 1x~600000x, Negatif Gerçek Büyütme | 1x~3000000x Negatif Gerçek Büyütme |
| Elektron Tabancası | Ön Merkezlenmiş Tungsten Filament Kartuş | Schottky Saha Emisyon Tabancası | Schottky Saha Emisyon Tabancası |
| Gerilim | Hızlanma Gerilimi 0,2~30kV, Sürekli Ayarlanabilir, Adım Ayarlama 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Hızlı Görünüm | Tek Tuşla Hızlı Görünüm Görüntüleme İşlevi | Yok | Yok |
| Mercek Sistemi | Üç Seviyeli Elektromanyetik Konik Lens | Çok Seviyeli Elektromanyetik Konik Lens | |
| Diyafram | 3 Molibden Objektif Açıklığı, Vakum Sisteminin Dışından Ayarlanabilir, Açıklığı Değiştirmek İçin Objektifin Sökülmesine Gerek Yok | ||
| Vakum Sistemi | 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik Pompa Numune Odası Vakumu>2.6E-3Pa Elektron Tabancası Odası Vakumu>2.6E-3Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu İsteğe Bağlı Model: A63.7069-LV 1 Turbo Moleküler Pompa 2Mekanik Pompalar Numune Odası Vakumu>2.6E-3Pa Elektron Tabancası Odası Vakumu>2.6E-3Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu Düşük VakumAralık 10~270Pa, 90 Saniyede Hızlı Geçiş için BSE(LV) için |
1 İyon Pompa Seti 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik Pompa Numune Odası Vakumu>6E-4Pa Elektron Tabancası Odası Vakumu>2E-7 Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu |
1 Püskürtme İyon Pompası 1 Alıcı İyon Bileşik Pompası 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik Pompa Numune Odası Vakumu>6E-4Pa Elektron Tabancası Odası Vakumu>2E-7 Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu |
| Dedektör | GD: Yüksek Vakumlu İkincil Elektron Dedektörü (Dedektör Korumalı) | GD: Yüksek Vakumlu İkincil Elektron Dedektörü (Dedektör Korumalı) | GD: Yüksek Vakumlu İkincil Elektron Dedektörü (Dedektör Korumalı) |
| BSE: Yarı İletken 4 Segmentasyonu Geri Saçılma Dedektörü |
İsteğe bağlı | İsteğe bağlı | |
| İsteğe Bağlı Model: A63.7069-LV BSE(LV): Yarı İletken 4 Segmentasyonu Geri Saçılma Dedektörü |
|||
| CCD:Kızılötesi CCD Kamera | CCD:Kızılötesi CCD Kamera | CCD:Kızılötesi CCD Kamera | |
| Bağlantı Noktasını Genişlet | Örnek Odadaki 2 Bağlantı Noktasını Genişletin EDS, BSD, WDS vb. |
4 Örnek Odadaki Bağlantı Noktalarını Genişletin BSE, EDS, BSD, WDS vb. |
4 Örnek Odadaki Bağlantı Noktalarını Genişletin BSE, EDS, BSD, WDS vb. |
| Numune Aşaması | 5 Eksen Aşaması, 4Otomatik+1ManuelKontrol Seyahat Aralığı: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(Manuel) Dokunma Uyarısı ve Durdurma İşlevi İsteğe Bağlı Model: A63.7069-L5 Eksenli Otomatik Büyük Tabla |
5 EksenOtomatik OrtaSahne Seyahat Aralığı: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Dokunma Uyarısı ve Durdurma İşlevi İsteğe Bağlı Model: A63.7080-L5 EksenOtomatik BüyükSahne |
5 EksenOtomatik BüyükSahne Seyahat Aralığı: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Dokunma Uyarısı ve Durdurma İşlevi |
| Maksimum Numune | Çap 175mm, Yükseklik 35mm | Çap 175mm, Yükseklik 20mm | Çap 340mm, Yükseklik 50mm |
| Görüntü Sistemi | Gerçek Hareketsiz Görüntü Maksimum Çözünürlük 4096x4096 Piksel, Görüntü Dosyası Formatı: BMP (Varsayılan), GIF, JPG, PNG, TIF |
Gerçek Hareketsiz Görüntü Maksimum Çözünürlük 16384x16384 Piksel, Görüntü Dosyası Formatı: TIF (Varsayılan), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Otomatik Dijital .AVI Video Kaydı |
Gerçek Hareketsiz Görüntü Maksimum Çözünürlük 16384x16384 Piksel, Görüntü Dosyası Formatı: TIF (Varsayılan), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Otomatik Dijital .AVI Video Kaydı |
| Bilgisayar ve Yazılım | PC İş İstasyonu Win 10 Sistemi, Tüm SEM Mikroskop Çalışmasını Tamamen Kontrol Etmek İçin Profesyonel Görüntü Analiz Yazılımı ile, Bilgisayar Özellikleri Inter I5 3.2GHz'den Az Değil, 4G Bellek, 24" IPS LCD Monitör, 500G Sabit Disk, Fare, Klavye | ||
| Fotoğraf Gösterimi | Görüntü Düzeyi Zengin ve Titizdir; Gerçek Zamanlı Büyütme, Cetvel, Gerilim, Gri Eğri Gösterir | ||
| Boyut & Ağırlık |
Mikroskop Gövdesi 800x800x1850mm Çalışma Masası 1340x850x740mm Toplam Ağırlık 400Kg |
Mikroskop Gövdesi 800x800x1480mm Çalışma Masası 1340x850x740mm Toplam Ağırlık 450Kg |
Mikroskop Gövdesi 1000x1000x1730mm Çalışma Masası 1330x850x740mm Toplam Ağırlık 550Kg |
| Opsiyonel Aksesuarlar | |||
| Opsiyonel Aksesuarlar | A50.7002EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011İyon Püskürtme Kaplayıcı |
A50.7001BSE Geri Saçılımlı Elektron Dedektörü A50.7002EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011İyon Püskürtme Kaplayıcı A50.7030Motorize Kontrol Paneli |
A50.7001BSE Geri Saçılımlı Elektron Dedektörü A50.7002EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011İyon Püskürtme Kaplayıcı A50.7030Motorize Kontrol Paneli |
| A50.7001 | BSE Dedektörü | Yarı İletken Dört Segmentli Geri Saçılma Dedektörü; Malzemeler A+B, Morfoloji Bilgisi AB olarak mevcuttur; Mevcut Örnek Altın Püskürtmeden Gözlemleyin; Safsızlığı ve Dağıtımı Doğrudan Gri Tonlamalı Haritadan Gözlemleme bölümünde mevcuttur. |
| A50.7002 | EDS (X Işını Dedektörü) | Işık Elementi Analizi İçin Düşük Enerjili X-Işını İletimini Optimize Eden Silikon Nitrür (Si3N4) Penceresi; Mükemmel Çözünürlük ve Gelişmiş Düşük Gürültülü Elektronikleri Olağanüstü Verim Performansı Sağlar; Küçük Kaplama Alanı İdeal Geometri ve Aata Toplama Koşullarını Sağlamak İçin Esneklik Sunar; Dedektörler 30mm2 Çip İçerir. |
| A50.7003 | EBSD (Elektron Işını Geri Saçılımlı Kırınım) | Kullanıcı, malzemelerin kristal oryantasyonunu, kristal fazını ve mikro dokusunu ve ilgili malzeme performansını vb. analiz edebilir. EBSD kamera ayarlarının otomatik optimizasyonu Veri toplama sırasında maksimum bilgiyi elde etmek için etkileşimli gerçek zamanlı analiz yapın tüm veriler istenildiği zaman görüntülenebilen zaman etiketiyle işaretlendi yüksek çözünürlük 1392x1040x12 Tarama ve indeksleme hızı: 198 nokta/sn, standart olarak Ni ile, 2~5nA koşulu altında indeks oranının ≥99% olmasını sağlayabilir; kısa huzmeli akım ve 100pA'da 5kV'lik düşük voltaj koşullarında iyi çalışır yönelim ölçüm doğruluğu: 0,1 dereceden daha iyi Tripleks indeks sistemini kullanma: tek bant tanımına güvenmeye gerek yok, zayıf desen kalitesinin kolay indekslenmesi özel veritabanı: Elektron kırınımıyla elde edilen EBSD özel veritabanı: >400 faz yapısı İndeks yeteneği: 7 kristal sistemin tüm kristal malzemelerini otomatik olarak indeksleyebilir. Gelişmiş seçenekler elastik sertliğin (Elastik Sertlik), Taylor (Taylor) faktörünün, Schmidt (Schmid) faktörünün vb. hesaplanmasını içerir. |
| A50.7010 | Kaplama Makinası | Cam Koruma Kabuğu: ∮250mm; 340 mm Yükseklik; Cam İşleme Odası: ∮88mm; 140mm Yüksek, ∮88mm; 57 mm Yüksek; Numune Sahne Boyutu: ∮40mm (maks); Vakum Sistemi: molekül Pompası ve Mekanik Pompa; Vakum Algılama: Pirani Gage; Vakum: 2 X 10-3 Pa'dan daha iyi; Vakum Koruması: Mikro Ölçekli Şişirme Valfli 20 Pa; Numune Hareketi: Düzlem Döndürme, Eğim Presesyon. |
| A50.7011 | İyon Püskürtme Kaplayıcı | Cam İşleme Odası: ∮100mm; 130mm Yüksek; Numune Sahne Boyutu: ∮40mm (6 Numune Kabı Tutun); Altın Hedef Boyutu: ∮58mm*0,12mm(kalınlık); Vakum Algılama: Pirani Gage; Vakum Koruması: Mikro Ölçekli Şişirme Valfli 20 Pa; Orta Gaz: Argon Veya Argon Gazı Özel Hava Girişli ve Mikro Ölçekte Gaz Ayarlı Hava. |
| A50.7012 | Argon İyon Püskürtme Kaplayıcı | Numune Yüksek Vakum Altında Karbon ve Altınla Kaplandı; Döndürülebilir Numune Tablosu, Düzgün Kaplama, Parçacık Boyutu Yaklaşık 3-5nm; Hedef Malzeme Seçimi Yok, Numunelerde Hasar Yok; İyon Temizleme ve İyon İnceltme Fonksiyonları Gerçekleştirilebilir. |
| A50.7013 | Kritik Nokta Kurutucu | İç Çap: 82 mm, İç Uzunluk: 82 mm; Basınç Aralığı: 0-2000psi; Sıcaklık Aralığı:0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Elektron Işını Litografisi | Taramalı Elektron Mikroskobuna Dayalı Yeni Bir Nano Pozlama Sistemi Geliştirildi; Değişiklik, Nano Ölçekte Çizgi Genişliği Görüntüsü Oluşturmak İçin Tüm Sem Fonksiyonlarını Korudu; Değiştirilmiş Ebl Sistemi Mikroelektronik Cihazlara, Optoelektronik Cihazlara, Kuantun Cihazlarına, Mikroelektronik Sistem Ar-Ge'sine Yaygın Olarak Uygulanmaktadır. |
| A63.7080, A63.7081 Standart Sarf Malzemeleri Donanımı | |||
| 1 | Alan Emisyon Filamenti | Mikroskopta yüklü | 1 adet |
| 2 | Numune Kupası | Çap.13mm | 5 Adet |
| 3 | Numune Kupası | Çap.32mm | 5 Adet |
| 4 | Karbon Çift Taraflı İletken Bant | 6 mm | 1 Paket |
| 5 | Vakum Gresi | 10 Adet | |
| 6 | Tüysüz Kumaş | 1 Tüp | |
| 7 | Parlatma Pastası | 1 adet | |
| 8 | Numune Kutusu | 2 Çanta | |
| 9 | Pamuklu Çubukla | 1 adet | |
| 10 | Yağ Buharı Filtresi | 1 adet | |
| A63.7080, A63.7081 Standart Aletler ve Parça Donanımı | |||
| 1 | İç Altıgen Anahtar | 1,5 mm~10 mm | 1 Takım |
| 2 | Cımbız | Uzunluk 100-120mm | 1 adet |
| 3 | Oluklu Tornavida | 2*50mm, 2*125mm | 2 Adet |
| 4 | Çapraz Tornavida | 2*125mm | 1 adet |
| 5 | Havalandırma borusunu temizleyin | Dia.10/6.5mm(Dış Çap/İç Çap) | 5m |
| 6 | Havalandırma basıncı düşürücü vana | Çıkış Basıncı 0-0.6MPa | 1 adet |
| 7 | Dahili pişirme güç kaynağı | 0-3ADC | 2 Adet |
| 8 | UPS güç kaynağı | 10kVA | 2 Adet |
| Taramalı Elektron Mikroskobu Numune Hazırlama Aleti | ||