- Cam işleme odası: ∮100mm; 130mm Yüksek.
- Örnek sahne boyutu: ∮40mm (6 örnek bardak tutun)
- Altın hedef boyutu:
∮58mm * 0.12 (kalınlık)
- Vakum tespiti: Pirani gage
- Vakum koruması: Mikroskobik şişirme valfi ile 20 pa
--Medium Gas: Argon gazı ile özel argon gazı veya özel hava girişi ve mikro ölçekte regüle edilen gaz.
A50.7011 İyon Püskürtme Kaplayıcı |
Vakum odası | Dia 100mm * H130mm |
Örnek Aşama | Dia 40mm (6 Numune Bardakları Tutun) |
Altın Püskürtme Hedefi | Dia 58mm * 0.12mm (kalınlık) |
Vakum monometresi | Pirani Gage |
Vakum pompası | Dönme Kanatlı Pums: 2L / s |
Vakum Koruma Noktası | Mikro Ölçekli Enflasyon Valfli 20 Pa |
Çalışma gazı | Argon gazı ile özel argon gazı |
Püskürtme gerilimi | 1.6KV |
Brüt ağırlık | 48kg |
uyma | CE |