| A63.7080, A63.7081 Yazılım Ana Fonksiyonu | ||
| Yüksek voltajlı entegre devreye alma | Otomatik filament açık / kapalı | Potansiyel vardiya düzenlemesi |
| Parlaklık ayarlama | Elektrikten merkeze ayarlama | Otomatik parlaklık |
| Kontrast ayarlama | Objektif lens ayarlama | Otomatik odaklama |
| Büyütme ayarlaması | Hedef dışküre çıkarma | Otomatik astigmatizm ortadan kaldırılması |
| Seçili alan tarama modu | Elektrikli dönüş ayarlama | Mikroskop parametrelerinin yönetimi |
| Nokta tarama modu | Elektron ışınının yer değiştirme ayarlaması | Tarama alanı boyutunun gerçek zamanlı görüntülenmesi |
| Satır tarama modu | Elektron ışınının eğim ayarlaması | Silah lens ayarlama |
| Yüzey taraması | Tarama hızı ayarlama | Çok kanallı giriş |
| Yüksek voltajlı güç izleme | Swing merkezleme | Linyer ölçümü |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Karar | 3nm@30KV ((SE) 6nm@30KV ((BSE) |
1.5nm@30KV ((SE) 3nm@30KV ((BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV ((BSE) |
| Büyütme | 1x~450000x,Negatif Gerçek Büyütme | 1x~600000x, Negatif Gerçek Büyütme | 1x~3000000x Negatif Gerçek Büyütme |
| Elektron tabancası | Ön merkezli volfram filament kartuşu | Schottky Alanı Emisyon Silahı | Schottky Alanı Emisyon Silahı |
| Voltaj | Hızlandırma Voltajı 0.2- Evet.30kV, Sürekli Düzenlenebilir, Düzenleme Adımı 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Hızlı Görünüm | Bir Anahtar Hızlı Görüntüleme Görüntü Fonksiyonu | N/A | N/A |
| Lens Sistemi | Üç seviyeli Elektromanyetik Tapered Lens | Çok seviyeli Elektromanyetik Tapered Lens | |
| Açıklık | 3 Molibden Objektif Apertürleri, Vakum Sisteminin Dışında Düzenlenebilir, Apertür Değiştirmek için Objektifi Ayrmak Gerekmez | ||
| Vakum Sistemi | 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik pompa Örnek odası vakumu>2.6E-3Pa Elektron Silahı Oda Vakum>2.6E-3Pa Tamamen Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu Seçmeli Model: A63.7069-LV 1 Turbo Moleküler Pompa 2Mekanik pompalar Örnek odası vakumu>2.6E-3Pa Elektron Silahı Oda Vakum>2.6E-3Pa Tamamen Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu Düşük vakumBSE için 90 saniyede hızlı geçiş için 10 ~ 270Pa aralığı |
1 İyon pompası seti 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik pompa Örnek odası vakumu>6E-4Pa Elektron Silahı Oda Vakum>2E-7 Pa Tamamen Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu |
1 Sputter İyon Pompası 1 Getter İyon Bileşik Pompası 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik pompa Örnek odası vakumu>6E-4Pa Elektron Silahı Oda Vakum>2E-7 Pa Tamamen Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu |
| Detektör | SE: Yüksek vakumlu ikincil elektron dedektörü (detektör koruması ile) | SE: Yüksek vakumlu ikincil elektron dedektörü (detektör koruması ile) | SE: Yüksek vakumlu ikincil elektron dedektörü (detektör koruması ile) |
| BSE: Yarım iletken 4 Bölünme Geri dağıtım dedektörü |
İsteğe bağlı | İsteğe bağlı | |
| Seçmeli Model: A63.7069-LV BSE (LV): Yarım iletken 4 Bölünme Geri dağıtım dedektörü |
|||
| CCD:Kızılötesi CCD Kamera | CCD:Kızılötesi CCD Kamera | CCD:Kızılötesi CCD Kamera | |
| Limanı uzat | 2 Örnek odasındaki portları genişlet EDS, BSD, WDS vb. |
4 Örnek odasındaki portları genişlet BSE, EDS, BSD, WDS vb. |
4 Örnek odasındaki portları genişlet BSE, EDS, BSD, WDS vb. |
| Örnek aşaması | 5 Eksenler Aşama, 4Otomatik+ 1KılavuzKontrol Seyahat aralığı: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° ((El) Uyarı ve Durdurma İşlevine Dokun İsteğe bağlı model: A63.7069-L5 Eksen Otomatik Büyük Sahne |
5 EksenOtomatik OrtaAşama Seyahat aralığı: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Uyarı ve Durdurma İşlevine Dokun İsteğe bağlı model: A63.7080-L5 EksenOtomatik BüyükAşama |
5 EksenOtomatik BüyükAşama Seyahat aralığı: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Uyarı ve Durdurma İşlevine Dokun |
| En fazla numune | 175 mm çapı, 35 mm yüksekliği. | 175 mm çapı, 20 mm yüksekliği. | Çapı 340 mm, yüksekliği 50 mm. |
| Görüntü Sistemi | Gerçek sabit görüntü maksimum çözünürlük 4096x4096 piksel Resim Dosya Biçimi: BMP ((Özgün), GIF, JPG, PNG, TIF |
Gerçek sabit görüntü maksimum çözünürlük 16384x16384 piksel Resim Dosya Biçimi: TIF ((Özgün), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Otomatik Kayıt Dijital.AVI Video |
Gerçek sabit görüntü maksimum çözünürlük 16384x16384 piksel Resim Dosya Biçimi: TIF ((Özgün), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Otomatik Kayıt Dijital.AVI Video |
| Bilgisayar ve Yazılım | PC İş İstasyonu Win 10 Sistemi, Profesyonel Görüntü Analizi Yazılımı ile Tüm SEM Mikroskop İşlemini Tamamiyle Kontrol Etmek, Bilgisayar Spesifikasyonu Inter I5 3.2GHz'den Az Değil, 4G Bellek,24 inç IPS LCD Monitör, 500G Sabit Disk, Fare, Klavye | ||
| Fotoğraf Ekranı | Resim seviyesi zengin ve titiz, gerçek zamanlı büyütme, saltanat, voltaj, gri eğri gösterir | ||
| Boyut & Ağırlık |
Mikroskop gövdesi 800x800x1850mm Çalışma masası 1340x850x740mm Toplam Ağırlık 400Kg |
Mikroskop gövdesi 800x800x1480mm Çalışma masası 1340x850x740mm Toplam Ağırlığı 450Kg |
Mikroskop gövdesi 1000x1000x1730mm Çalışma masası 1330x850x740mm Toplam Ağırlığı 550Kg |
| İsteğe bağlı aksesuarlar | |||
| İsteğe bağlı aksesuarlar | A50.7002EDS Enerji Dağınıklığı X-ışını Spektrometresi A50.7011İyon püskürtme kaplama |
A50.7001BSE geri dağılan elektron dedektörü A50.7002EDS Enerji Dağınıklığı X-ışını Spektrometresi A50.7011İyon püskürtme kaplama A50.7030Motorlu Kontrol Paneli |
A50.7001BSE geri dağılan elektron dedektörü A50.7002EDS Enerji Dağınıklığı X-ışını Spektrometresi A50.7011İyon püskürtme kaplama A50.7030Motorlu Kontrol Paneli |
| A50.7001 | BSE Detektörü | Yarım iletken dört segment geri dağıtım dedektörü; A + B, Morfoloji Bilgisi A-B bileşenlerinde mevcuttur; Altın püskürtmeden mevcut örnek gözlem; Gözlemde bulunan kirlilik ve dağıtım doğrudan grilik haritasından. |
| A50.7002 | EDS (X ışını dedektörü) | Silikon Nitrür (Si3N4) Açık Element Analizi için Düşük Enerji X-ışını iletimini Optimize Etmek için Pencere; Mükemmel çözünürlük ve gelişmiş düşük gürültülü elektronikleri olağanüstü performans sağlar; Küçük ayak izi, ideal geometri ve AATA toplama koşullarını sağlamak için esneklik sağlar. Detektörlerde 30 mm2'lik bir çip var. |
| A50.7003 | EBSD (Elektron ışını geri dağıtım difraksiyonu) | Kullanıcı, malzemelerin kristal yönelimini, kristal fazını ve mikro dokularını ve ilgili malzemelerin performansını analiz edebilir. EBSD kamera ayarlarının otomatik optimizasyonu veri toplama sırasında, maksimum bilgi elde etmek için etkileşimli gerçek zamanlı analiz yapmak Tüm veriler zaman etiketi ile işaretlenmiş, herhangi bir zamanda görüntülenebilir. yüksek çözünürlük 1392 x 1040 x 12 Tarama ve indeks hızı: 198 puan / saniye, Ni standart olarak, 2 ~ 5nA koşulunda, indeks oranını% ≥99'u sağlayabilir; Düşük ışın akımı ve 100pA'da 5kV düşük voltaj koşullarında iyi çalışır. yönelim ölçüm doğruluğu: 0,1 dereceden daha iyi Üçlü indeks sistemi kullanmak: tek bant tanımına güvenmek gerekmez, zayıf desen kalitesinin kolay indekslenmesi özel veri tabanı: Elektron difraksiyonu ile elde edilen EBSD özel veri tabanı: >400 faz yapısı İndeks yeteneği: 7 kristal sisteminin tüm kristal malzemelerini otomatik olarak indeksleyebilir. Gelişmiş seçenekler arasında elastik sertlik (Elastic Stiffness), Taylor (Taylor) faktörü, Schmidt (Schmid) faktörü vb. |
| A50.7010 | Kaplama makinesi | Cam Koruyucu Kabuk: 250 mm; 340 mm Yüksek; Cam işleme odası: 88mm; 140mm Yüksek, 88mm; 57mm Yüksek; Örnek aşamasının boyutu: 40 mm (max); Vakum sistemi: Moleküler pompa ve mekanik pompa; Vakum algılama: Pirani ölçümü; Vakum: 2 x 10-3 Pa'dan daha iyi; Vakum Koruması:20 Pa Mikro ölçekli Şişirme Valfi ile; Örnek Hareketi: Uçak Dönüşümü, Eğiliş Öncesi. |
| A50.7011 | İyon püskürtme kaplama | Cam işleme odası: ¥100mm; 130mm Yükseklik; Örnek aşamasının boyutu: 40 mm ((6 örnek bardağı tutun); Altın Hedef Boyutu: ′′58mm*0.12mm(kalınlığı); Vakum algılama: Pirani ölçümü; Vakum Koruması:20 Pa Mikro ölçekli Şişirme Valfi ile; Orta gaz:Argon veya Argon Gazı Özel Hava Girişi ve Mikro ölçekte Gaz Düzenleyici. |
| A50.7012 | Argon iyon püskürtme kaplama | Örnek yüksek vakum altında karbon ve altınla kaplanmıştı. Dönüştürülebilir örnekleme tablosu, eşit kaplama, parçacık boyutu Yaklaşık 3-5nm; Hedef malzemenin seçimi, numunelere zarar verme; İyon temizleme ve iyon inceltme işlevleri gerçekleştirilebilir. |
| A50.7013 | Kritik Nokta Kurutucusu | İç çapı: 82 mm, iç uzunluğu: 82 mm. Basınç aralığı:0-2000psi; Sıcaklık aralığı: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Elektron ışını litografisi | Tarama Elektron Mikroskobuna dayanan yeni bir nano-yansıtma sistemi geliştirildi; Değişiklik, Nanoscale çizgi genişliği görüntüsü yapmak için tüm Sem fonksiyonlarını korudu. Değiştirilmiş Ebl Sistemi Mikroelektronik Cihazlar, Optoelektronik Cihazlar, Kuantum Cihazlar, Mikroelektronik Sistemi Ar-Ge'de Geniş Önem Alıyor. |
| A63.7080, A63.7081 Standart tüketici malzemeler | |||
| 1 | Alan Emisyon Filamentleri | Mikroskopla Yapıştırılmış | 1 Pc |
| 2 | Örnek bardak | 13 mm çapı | 3 adet |
| 3 | Örnek bardak | 32 mm. | 5 adet |
| 4 | Karbon Çift Yüzlü İletici Teyp | 6 mm | 1 Pc |
| 5 | Vakumlu Yağ | 50g (Hava yoluyla gönderildiğinde sağlanmayacak) | 1 Pc |
| 6 | Saçsız kumaş | 10 adet | |
| 7 | Polişlama pastası | (Hava yoluyla gönderirseniz sağlanmayacak) | 1 Pc |
| 8 | Örnek Kutusu | 1 Pc | |
| 9 | Pamuk Swab | 100 adet/torba | 2 çanta |
| 10 | Yağ Sis Filtresi | 1 Pc | |
| A63.7080, A63.7081 Standart Aletler ve Parçalar | |||
| 1 | İç altıgonlu açıcı | 1.5mm~10mm | 1 set |
| 2 | Pinçet | Uzunluğu 100-120 mm | 1 Pc |
| 3 | Çubuklu tornavida | 2*50mm, 2*125mm | 2 adet |
| 4 | Çapraz tornavida | 2*125mm | 1 Pc |
| 5 | Temiz havalandırma borusu | Diametre 10/6.5 mm (Dış çapı/iç çapı) | 5m |
| 6 | Havalandırma basınç azaltma valfi | Çıkış Basıncı 0-0.6MPa | 1 Pc |
| 7 | İç pişirme güç kaynağı | 0-3A DC | 2 adet |