Düzlem Taramalı Atomik Kuvvet Mikroskobu
- Portal tarama kafası tasarımı, mermer taban, vakum adsorpsiyon aşaması, numune boyutu ve ağırlığı temelde sınırsızdır.
- A62.4510 + Geniş bir aralıkta yüksek hassasiyetle tarama yapabilen, kapalı çevrim üç eksenli bağımsız basınç kaydırmalı tarayıcı
- Probları ve numuneleri korumak için motor kontrollü piezoelektrik seramiklerin otomatik tespiti ile akıllı iğne besleme yöntemi
- Otomatik optik konumlandırma, odak ayarlamaya gerek yok, gerçek zamanlı gözlem ve konumlandırma probu örnek tarama alanı
- Kapalı metal kalkan, pnömatik şok emici masa, güçlü parazit önleme özelliği ile donatılmıştır
◆ Çin'de prob ve numunenin kombine mobil taramasını gerçekleştiren ilk ticari atomik kuvvet mikroskobu;
◆ Çin'de büyük ölçekli yüksek hassasiyetli tarama elde etmek için üç eksenli bağımsız kapalı döngü piezoelektrik kaydırmalı tarama tablosu kullanan ilk;
◆ Üç eksenli bağımsız tarama, XYZ birbirini etkilemez, üç boyutlu malzeme ve topografya tespiti için çok uygundur;
◆ Hızlı otomatik algılamayı gerçekleştirmek için çok noktalı konumla programlanabilen numune hareketli tabla ve kaldırma tablasının elektrik kontrolü;
◆ Portal tarama kafası tasarımı, mermer taban, vakum adsorpsiyon ve manyetik adsorpsiyon aşaması;
◆ Motor, probu ve numuneyi korumak için piezoelektrik seramik otomatik algılamanın akıllı iğne besleme yöntemini otomatik olarak kontrol eder;
◆ Yüksek büyütmeli yardımcı optik mikroskop konumlandırma, gerçek zamanlı gözlem ve prob ve numune tarama alanının konumlandırılması;
◆ Kapalı döngü piezoelektrik tarama aşaması, doğrusal olmayan düzeltme gerektirmez ve nanometre karakterizasyonu ve ölçüm doğruluğu %99,5'ten daha iyidir.
-
|
A62.4510 |
A62.4511 |
Çalışma modu |
İletişim Modu Dokunma Modu
[İsteğe bağlı] Sürtünme Modu Faz Modu Manyetik Mod Elektrostatik Mod |
İletişim Modu Dokunma Modu
[İsteğe bağlı] Sürtünme Modu Faz Modu Manyetik Mod Elektrostatik Mod |
Mevcut Spektrum Eğrisi |
RMS-Z Eğrisi FZ Kuvvet Eğrisi |
RMS-Z Eğrisi FZ Kuvvet Eğrisi |
XY Tarama Modu |
Prob Güdümlü Tarama, Piezo Tüp Tarayıcı |
Örnek Tahrikli Tarama, Kapalı Döngü Piezoelektrik Kaydırmalı Tarama Aşaması |
XY Tarama Aralığı |
70×70um |
Kapalı Döngü 100×100um |
XY Tarama Çözünürlüğü |
0,2 nm |
Kapalı Döngü 0.5nm |
Z Tarama Modu |
|
Prob Güdümlü Tarama |
Z Tarama Aralığı |
5um |
5um |
Z Tarama Çözünürlüğü |
0.05nm |
0.05nm |
Tarama Hızı |
0,6Hz~30Hz |
0,6Hz~30Hz |
Tarama Açısı |
0~360° |
0~360° |
Numune Ağırlığı |
≤15Kg |
≤0.5Kg |
Sahne Boyutu |
Çap.100mm
[İsteğe bağlı] Çap.200mm Çap.300mm |
Çap.100mm
[İsteğe bağlı] Çap.200mm Çap.300mm |
Aşama XY Hareketli |
100x100mm, Çözünürlük 1um
[İsteğe bağlı] 200x200mm 300x300mm |
100x100mm, Çözünürlük 1um
[İsteğe bağlı] 200x200mm 300x300mm |
Aşama Z Hareketli |
15 mm, Çözünürlük 10nm [İsteğe bağlı] 20 mm 25 mm |
15 mm, Çözünürlük 10nm [İsteğe bağlı] 20 mm 25 mm |
Şok Emici Tasarım |
Yaylı süspansiyon
[İsteğe bağlı] Aktif Amortisör |
Yaylı süspansiyon
[İsteğe bağlı] Aktif Amortisör |
Optik sistem |
Hedef 5x 5.0M Dijital Kamera
[İsteğe bağlı] Hedef 10x Hedef 20x |
Hedef 5x 5.0M Dijital Kamera
[İsteğe bağlı] Hedef 10x Hedef 20x |
Çıktı |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Yazılım |
XP/7/8/10 kazanın |
XP/7/8/10 kazanın |
Ana Gövde |
Portal Tarama Kafası, Mermer Taban |
Portal Tarama Kafası, Mermer Taban |
-
Mikroskop |
Optik mikroskop |
Elektron mikroskobu |
Taramalı Prob Mikroskobu |
Maksimum Çözünürlük (um) |
0.18 |
0.00011 |
0.00008 |
Açıklama |
Yağa daldırma 1500x |
Elmas karbon atomlarını görüntüleme |
Yüksek dereceli grafit karbon atomlarını görüntüleme |
|
|
|
-
Prob-Numune Etkileşimi |
Ölçüm Sinyali |
Bilgi |
Kuvvet |
Elektrostatik kuvvet |
Şekil |
Tünel Akımı |
Akım |
Şekil, İletkenlik |
Manyetik Kuvvet |
Evre |
Manyetik Yapı |
Elektrostatik kuvvet |
Evre |
yük dağılımı |
-
|
Çözünürlük |
Çalışma şartı |
Çalışma Temperleme |
Numune Hasarı |
Muayene Derinliği |
SPM |
Atom Seviyesi 0.1nm |
Normal, Sıvı, Vakum |
Oda veya Düşük Sıcaklık |
Hiçbiri |
1~2 Atom Seviyesi |
TEM |
Nokta 0.3~0.5nm Kafes 0.1~0.2nm |
Yüksek Vakum |
Oda Sıcaklığı |
Küçük |
Genellikle <100nm |
SEM |
6-10nm |
Yüksek Vakum |
Oda Sıcaklığı |
Küçük |
10mm @10x 1um @10000x |
FIM |
Atom Seviyesi 0.1nm |
Süper Yüksek Vakum |
30~80K |
hasar |
Atom Kalınlığı |
-
-
-