◆ Minyatür ve çıkarılabilir tasarım, taşıması çok kolay ve sınıf öğretimi
◆ Algılama kafası ve numune tarama aşaması entegre edilmiştir, yapı çok kararlıdır ve parazit önleyici güçlüdür
◆ Tek eksenli sürücü numunesi, iğne ucunun numune taramasına dik olması için otomatik olarak proba dikey olarak yaklaşır
◆ Motor kontrollü basınçlı piezoelektrik seramik otomatik algılamanın akıllı iğne besleme yöntemi, probu ve numuneyi korur
◆ Yan CCD gözlem sistemi, prob iğnesi yerleştirme durumunun gerçek zamanlı gözlemi ve prob numunesi tarama alanının konumlandırılması
◆ Yaylı süspansiyon darbeye dayanıklı yöntem, basit ve pratik, iyi darbeye dayanıklı etki
◆ Entegre tarayıcı doğrusal olmayan düzeltme kullanıcı editörü, nanometre karakterizasyonu ve ölçüm doğruluğu %98'den daha iyi
A61.4510 | |
Çalışma modu | Sabit Yükseklik Modu Sabit Akım Modu |
Mevcut Spektrum Eğrisi | IV Eğrisi Akım-Mesafe Eğrisi |
XY Tarama Aralığı | 5×5um |
XY Tarama Çözünürlüğü | 0.05nm |
Z Tarama Aralığı | 1um |
Y Tarama Çözünürlüğü | 0.01 nm |
Tarama Hızı | 0.1Hz~62Hz |
Tarama Açısı | 0~360° |
Örnek boyut | Φ≤68mm H≤20mm |
XY Sahne Hareketli | 15×15mm |
Şok Emici Tasarım | Yaylı süspansiyon |
Optik Sistem | 1~500x Sürekli Yakınlaştırma |
Çıktı | USB2.0/3.0 |
Yazılım | XP/7/8/10 kazanın |
Mikroskop | Optik mikroskop | Elektron mikroskobu | Taramalı Prob Mikroskobu |
Maksimum Çözünürlük (um) | 0.18 | 0.00011 | 0.00008 |
Açıklama | Yağa daldırma 1500x | Elmas karbon atomlarını görüntüleme | Yüksek dereceli grafit karbon atomlarını görüntüleme |
Prob-Numune Etkileşimi | Ölçüm Sinyali | Bilgi |
Kuvvet | Elektrostatik kuvvet | Şekil |
Tünel Akımı | Akım | Şekil, İletkenlik |
Manyetik Kuvvet | Evre | Manyetik Yapı |
Elektrostatik kuvvet | Evre | yük dağılımı |
Çözünürlük | Çalışma şartı | Çalışma Temperleme | Numune Hasarı | Muayene Derinliği | |
SPM | Atom Seviyesi 0.1nm | Normal, Sıvı, Vakum | Oda veya Düşük Sıcaklık | Hiçbiri | 1~2 Atom Seviyesi |
TEM | Nokta 0.3~0.5nm Kafes 0.1~0.2nm |
Yüksek Vakum | Oda Sıcaklığı | Küçük | Genellikle <100nm |
SEM | 6-10nm | Yüksek Vakum | Oda Sıcaklığı | Küçük | 10mm @10x 1um @10000x |
FIM | Atom Seviyesi 0.1nm | Süper Yüksek Vakum | 30~80K | hasar | Atom Kalınlığı |