A63.7080, A63.7081 Yazılım Ana İşlevi | ||
Yüksek gerilim entegre devreye alma | Otomatik filament açma/kapama | Potansiyel vardiya düzenlemesi |
Parlaklık ayarı | Merkezi ayara elektrik | Otomatik parlaklık |
Kontrast ayarı | Objektif lens ayarı | Otomatik odaklama |
Büyütme ayarı | Objektif degaussing | Otomatik astigmatizma eliminasyonu |
Seçilen alan tarama modu | Elektrikli dönüş ayarı | Mikroskop parametrelerinin yönetimi |
Nokta tarama modu | Elektron ışını yer değiştirme ayarı | Tarama alanı boyutunun gerçek zamanlı gösterimi |
Çizgi tarama modu | Elektron ışını eğim ayarı | Tabanca lens ayarı |
Yüzey taraması | Tarama hızı ayarı | Çok kanallı giriş |
Yüksek voltajlı güç izleme | salıncak merkezleme | Cetvel ölçümü |
SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
Çözünürlük | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1.5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV(SE) 2.5nm@30KV(BSE) |
Büyütme | 8x~300000x Negatif Gerçek Büyütme | 8x~800000x Negatif Gerçek Büyütme | 6x~1000000x Negatif Gerçek Büyütme |
Elektron silahı | Ön-Merkezli Tungsten Filament Kartuş | Schottky Saha Emisyon Tabancası | Schottky Saha Emisyon Tabancası |
Gerilim | Hızlanma Gerilimi 0~30KV, Sürekli Ayarlanabilir, Adım Ayarı 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
Hızlı Görünüm | Tek Tuşla Hızlı Görünüm Görüntü İşlevi | Yok | Yok |
Lens Sistemi | Üç Seviyeli Elektromanyetik Konik Lens | Çok Seviyeli Elektromanyetik Konik Lens | |
diyafram | 3 Molibden Objektif Açıklığı, Vakum Sistemi Dışında Ayarlanabilir, Açıklığı Değiştirmek İçin Sökmeye Gerek Yok | ||
Vakum sistemi | 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik Pompa Örnek Oda Vakum>2.6E-3Pa Elektron Tabancası Odası Vakum>2.6E-3Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu Opsiyonel Model: A63.7069-LV 1 Turbo Moleküler Pompa 2Mekanik Pompalar Örnek Oda Vakum>2.6E-3Pa Elektron Tabancası Odası Vakum>2.6E-3Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu Düşük VakumBSE(LV) için 90 Saniyede Hızlı Geçiş için Aralık 10~270Pa |
1 İyon Pompa Seti 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik Pompa Örnek Oda Vakum>6E-4Pa Elektron Tabancası Odası Vakum>2E-7 Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu |
1 Püskürtme İyon Pompası 1 Getter İyon Bileşik Pompası 1 Turbo Moleküler Pompa 1 Mekanik Pompa Örnek Oda Vakum>6E-4Pa Elektron Tabancası Odası Vakum>2E-7 Pa Tam Otomatik Vakum Kontrolü Vakum Kilitleme Fonksiyonu |
dedektör | GD: Yüksek Vakumlu Sekonder Elektron Dedektörü (Dedektör Korumalı) | GD: Yüksek Vakumlu Sekonder Elektron Dedektörü (Dedektör Korumalı) | GD: Yüksek Vakumlu Sekonder Elektron Dedektörü (Dedektör Korumalı) |
KKMM: Yarı İletken 4 Segmentasyonu Geri Saçılma Dedektörü Opsiyonel Model: A63.7069-LV BSE(AG): Yarı İletken 4 Segmentasyonu Geri Saçılma Dedektörü |
İsteğe bağlı | İsteğe bağlı | |
CCD:Kızılötesi CCD Kamera | CCD:Kızılötesi CCD Kamera | CCD:Kızılötesi CCD Kamera | |
Bağlantı Noktasını Genişlet | 2 Bağlantı Noktalarını Örnek Odada Genişletin EDS, BSD, WDS vb. |
4 Numune Odasındaki Portları Genişletin BSE, EDS, BSD, WDS vb. |
4 Numune Odasındaki Portları Genişletin BSE, EDS, BSD, WDS vb. |
Numune Aşaması | 5 Eksen Aşaması, 4Oto+1ManuelKontrol Seyahat Aralığı: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(Manuel) Dokunmatik Uyarı ve Durdurma İşlevi |
5 EksenOto OrtaSahne Seyahat Aralığı: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Dokunmatik Uyarı ve Durdurma İşlevi Opsiyonel Model: A63.7080-M5 EksenManuelSahne A63.7080-L5 EksenOto BüyükSahne |
5 EksenOto BüyükSahne Seyahat Aralığı: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Dokunmatik Uyarı ve Durdurma İşlevi |
Maksimum Numune | Çap.175mm, Yükseklik 35mm | Çap.175mm, Yükseklik 20mm | Çap.340mm, Yükseklik 50mm |
Görüntü Sistemi | Gerçek Hareketsiz Görüntü Maks. Çözünürlük 4096x4096 Piksel, Görüntü Dosyası Formatı: BMP(Varsayılan), GIF, JPG, PNG, TIF |
Gerçek Hareketsiz Görüntü Maks. Çözünürlük 16384x16384 Piksel, Görüntü Dosyası Formatı: TIF(Varsayılan), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Otomatik Kayıt Dijital .AVI Video |
Gerçek Hareketsiz Görüntü Maks. Çözünürlük 16384x16384 Piksel, Görüntü Dosyası Formatı: TIF(Varsayılan), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Otomatik Kayıt Dijital .AVI Video |
Bilgisayar yazılımı | PC İş İstasyonu Win 10 Sistemi, Tüm SEM Mikroskop İşlemini Tam Olarak Kontrol Etmek İçin Profesyonel Görüntü Analiz Yazılımı ile, Bilgisayar Özellikleri Inter I5'ten Daha Az Değil 3.2GHz, 4G Bellek, 24" IPS LCD Monitör, 500G Sabit Disk, Fare, Klavye | ||
Fotoğraf Gösterimi | Görüntü Düzeyi Zengin ve Titizdir, Gerçek Zamanlı Büyütme, Cetvel, Gerilim, Gri Eğri Gösterir | ||
Boyut & Ağırlık |
Mikroskop Gövdesi 800x800x1850mm Çalışma Masası 1340x850x740mm Toplam Ağırlık 400Kg |
Mikroskop Gövdesi 800x800x1480mm Çalışma Masası 1340x850x740mm Toplam Ağırlık 450Kg |
Mikroskop Gövdesi 1000x1000x1730mm Çalışma Masası 1330x850x740mm Toplam Ağırlık 550Kg |
İsteğe bağlı Aksesuarlar | |||
İsteğe bağlı Aksesuarlar | A50.7002EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011İyon Püskürtme Kaplayıcı |
A50.7001BSE Geri Saçılma Elektron Dedektörü A50.7002EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011İyon Püskürtme Kaplayıcı A50.7030Motorize Kontrol Paneli |
A50.7001BSE Geri Saçılma Elektron Dedektörü A50.7002EDS Enerji Dağılımlı X-Işını Spektrometresi A50.7011İyon Püskürtme Kaplayıcı A50.7030Motorize Kontrol Paneli |
A50.7001 | BSE Dedektörü | Yarı İletken Dört Segment Geri Saçılma Dedektörü; A+B, Morfoloji Bilgisi AB; Altın Püskürtmeden Mevcut Örnek Gözlem; Doğrudan Gri Tonlamalı Haritadan Kirliliği ve Dağılımı Gözleyin. |
A50.7002 | EDS (X Işını Dedektörü) | Işık Elemanı Analizi İçin Düşük Enerjili X-ışını İletimini Optimize Etmek İçin Silisyum Nitrür (Si3N4) Penceresi; Mükemmel Çözünürlük ve Gelişmiş Düşük Gürültülü Elektronikleri Olağanüstü Verimlilik Performansı Sağlar; Küçük Ayak İzi İdeal Geometri ve Aata Toplama Koşullarını Sağlamak İçin Esneklik Sunar; Dedektörler 30mm2 Çip İçerir. |
A50.7003 | EBSD (Elektron Işını Geri Saçılan Kırınım) | Kullanıcı, malzemelerin kristal yönünü, kristal fazını ve mikro dokusunu ve ilgili malzeme performansını vb. analiz edebilir. EBSD kamera ayarlarının otomatik optimizasyonu Veri toplama sırasında, maksimum bilgi elde etmek için etkileşimli gerçek zamanlı analiz yapın tüm veriler, herhangi bir zamanda görüntülenebilen zaman etiketi ile markalanmıştır. yüksek çözünürlük 1392 x 1040 x 12 Tarama ve indeks hızı: 198 puan / sn, Ni standart olarak, 2 ~ 5nA koşulu altında, indeks oranını ≥% 99 sağlayabilir; 100pA'da düşük huzme akımı ve 5kV'luk düşük voltaj koşullarında iyi çalışır oryantasyon ölçüm doğruluğu: 0.1 dereceden daha iyi Tripleks indeks sistemini kullanma: Tek bant tanımına güvenmeye gerek yok, düşük kalıp kalitesinin kolay indekslenmesi özel veri tabanı: elektron kırınımı ile elde edilen EBSD özel veri tabanı: >400 faz yapısı İndeks yeteneği: 7 kristal sistemin tüm kristal malzemelerini otomatik olarak indeksleyebilir. Gelişmiş seçenekler, elastik rijitlik (Elastik Sertlik), Taylor (Taylor) faktörü, Schmidt (Schmid) faktörü vb. hesaplamayı içerir. |
A50.7010 | Kuşe makinesi | Cam Koruyucu Kabuk: ∮250mm;340mm Yüksek; Cam İşleme Odası: ∮88mm;140 mm Yüksek, ∮88 mm;57mm Yüksek; Numune Aşama Boyutu: ∮40mm (maks); Vakum Sistemi:molekül Pompası ve Mekanik Pompa; Vakum Algılama: Pirani Gage; Vakum:2 X 10-3 Pa'dan daha iyi; Vakum Koruması:20 Pa Mikro Ölçekli Şişirme Valfi ile; Numune Hareketi: Düzlem Döndürme, Eğim Presesyonu. |
A50.7011 | İyon Püskürtme Kaplayıcı | Cam İşleme Odası: ∮100mm;130mm Yüksek; Numune Aşama Boyutu: ∮40mm (6 Numune Bardağı Tutun); Altın Hedef Boyutu: ∮58mm*0.12mm(kalınlık); Vakum Algılama: Pirani Gage; Vakum Koruması:20 Pa Mikro Ölçekli Şişirme Valfi ile; Orta Gaz: argon veya Argon Gazlı Hava Özel Hava Girişli ve Mikro Ölçekte Düzenleyen Gaz. |
A50.7012 | Argon İyon Püskürtme Kaplayıcı | Numune, Yüksek Vakum Altında Karbon ve Altınla Kaplandı; Dönebilen Numune Tablosu, Üniforma Kaplama, Partikül Boyutu Yaklaşık 3-5nm; Hedef Malzeme Seçimi Yok, Numunelerde Hasar Yok; İyon Temizleme ve İyon İnceltme Fonksiyonları Gerçekleştirilebilir. |
A50.7013 | Kritik Nokta Kurutucu | İç Çap: 82mm, İç Uzunluk: 82mm; Basınç Aralığı: 0-2000psi; Sıcaklık Aralığı:0°-50°C (32°-122°F) |
A50.7014 | Elektron Işını Litografisi | Taramalı Elektron Mikroskobuna Dayalı Yeni Bir Nano-pozlama Sistemi Geliştirildi; Değişiklik, Nano Ölçekli Çizgi Genişliği Görüntüsü Oluşturmak İçin Tüm Sem Fonksiyonlarını Tutmuştur; Mikroelektronik Cihazlara, Optoelektronik Cihazlara, Kuantun Cihazlarına, Mikroelektronik Sistem Ar-Ge'sine Yaygın Olarak Uygulanan Modifiye EBL Sistemi. |
A63.7080, A63.7081 Standart Sarf Malzemeleri Kıyafeti | |||
1 | Alan Emisyon Filamenti | Mikroskopta yüklü | 1 bilgisayar |
2 | Örnek Bardak | Çap.13mm | 5 Adet |
3 | Örnek Bardak | çap.32mm | 5 Adet |
4 | Karbon Çift Taraflı İletken Bant | 6mm | 1 Paket |
5 | Vakum Gresi | 10 parça | |
6 | Tüysüz Kumaş | 1 Tüp | |
7 | Parlatma Pastası | 1 bilgisayar | |
8 | Numune Kutusu | 2 Çanta | |
9 | Pamuklu | 1 bilgisayar | |
10 | Yağ Buharı Filtresi | 1 bilgisayar | |
A63.7080, A63.7081 Standart Aletler ve Parçalar Kıyafeti | |||
1 | İç Altıgen Anahtar | 1.5mm~10mm | 1 Takım |
2 | Cımbız | uzunluk 100-120mm | 1 bilgisayar |
3 | Oluklu Tornavida | 2*50mm, 2*125mm | 2 Adet |
4 | Çapraz Tornavida | 2*125mm | 1 bilgisayar |
5 | Havalandırma borusunu temizleyin | Dia.10/6.5mm(Çıkış Çapı/İç Çapı) | 5m |
6 | Havalandırma basıncı düşürme valfi | Çıkış Basıncı 0-0.6MPa | 1 bilgisayar |
7 | Dahili pişirme güç kaynağı | 0-3A DC | 2 Adet |
8 | UPS güç kaynağı | 10kVA | 2 Adet |